Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Beschreibung

Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Höhere Auflösungen als in der Lichtmikroskopie werden durch Elektronenmikroskope speziell Transmissionselektronenmikroskope (TEM) und Rasterelektronenmikroskope (REM) erreicht, da Elektronenstrahlen eine kleinere Wellenlänge als Licht haben. Hier erfolgt eine Abtastung der Probenoberfläche mittels eines Elektronenstrahles. Die dabei entstehenden Signale  (durch die Wechselwirkung zwischen Strahl und Probe) können u.a. zur bildlichen Darstellung der Oberfläche (Sekundärelektronen, rückgestreute Elektronen) oder zur Ermittlung der chemischen Zusammensetzung der bestrahlten Fläche (Röntgenstrahlung) mittels spezieller verschiedener Spektrometer genutzt werden (Funktion als Mikrosonde).